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SMC流體控制和高真空元件

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SMC高真空元件

更新時間：2012-12-18　點擊數(shù)：2700

SMC高真空元件
鋁制高真空L型閥   XL□


系列/CAD動作方式軸密封形式
閥形式材質法蘭尺寸
XLA 氣控波紋管密封單作用
(N.C.)		閥體：
　鋁合金
波紋管：
　SUS316L		16～80
XLAV
(帶電磁閥) 
XLC 雙作用
XLCV
(帶電磁閥) 
XLF O形圈密封
單作用
(N.C.)		閥體：
　鋁合金		16～160
XLFV
(帶電磁閥) 
XLG 雙作用16～80
XLGV
(帶電磁閥) 
XLD 波紋管・
O形圈密封
單作用
(N.C.)		閥體：
　鋁合金
波紋管：
　SUS316L		25～80
XLDV
(帶電磁閥) 
XLH 手動波紋管密封
手動閥體：
　鋁合金
波紋管：
　SUS316L		16～50
XLS 電磁式波紋管壓力平衡單作用
(N.C.)		16, 25
特長
  • 抗氟腐蝕能力強。
  • 放出氣體少。
  • 重金屬污染少。

鋁制快換接頭裝拆 高真空L型閥  XLAQ·XLDQ


系列/CAD動作方式軸密封形式閥形式材質法蘭尺寸
XLAQ 氣控波紋管密封單作用
(N.C.)		閥體：
　鋁
波紋管：
　SUS316L		16～50
XLDQ 波紋管密封
O形圈密封		40,50
特長
  • 快換接頭裝拆 (無需工具)

不銹鋼制高真空L型閥／直通閥  XM/XY


注）對直通型無尺寸16的閥。
系列/CAD
(L型/直通型)		動作方式軸密封方式閥形式材質法蘭尺寸
XMA/XYA 氣控波紋管密封單作用
(N.C.)		閥體：
　 SCS13
　 (相當SUS304)
波紋管：
　 SUS316L		16～80注）
XMC/XYC 雙作用
XMD/XYD 波紋管
O型圈密封		單作用
(N.C.)		閥體：
　SCS13
　(相當SUS304)
波紋管：
　SUS316L		25～80
XMH/XYH 手動波紋管密封手動閥體：
　SCS13
　 (相當SUS304)
波紋管：
　SUS316L		16～50注）
特長
  • 采用精密鑄造一體化結構，無氣體滯留。
  • 與鋁制高真空L型閥XL系列的安裝有互換性 (XM系列)

磁性開關   D


系列磁性開關種類內容
D Series 有觸點的磁性開關一般 (通用型)
無觸點的磁性開關一般 (通用型)

平穩(wěn)出氣閥   XVD


系列/CAD閥形式使用流體配管連接方式配管尺寸
XVD 常斷
(加壓通/彈簧密封)		氮氣、空氣、惰性氣體等VCR®
Swagelok®		1/4B
特長
  • 閥與針閥一體化結構使配管縮短為原來的1/4。
  • (閥芯)座部分采用間隙隔膜，微粒子數(shù)量大幅降低。
  • 伴隨主供氣初期供氣可進行流量調整。

門閥   XGT


系列/CAD使用壓力范圍 (Pa)使用流體門尺寸
(高×寬) (mm)		動作壓力
(MPa)
XGT 大氣壓～1×10-6惰性氣體系的真空32×222
46×236
50×336		0.45～0.6
特長
  • 對于半導體裝置等場合、適合于負載鎖定室和傳送室以及傳送室和過程室之間有門閥隔開的場合。

真空無桿氣缸   CYV


系列/CAD使用環(huán)境壓力｛Pa (ABS)｝缸徑 (mm)
CYV 大氣～1.3×10-415,32
特長
  • 真空環(huán)境內 (1.3×10-4Pa) 在搬運場合可以使用的氣缸。
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